|
■トップページ
■ビジネスフロー
■メカニズム
└バッチ洗浄：<Batch>
└枚葉洗浄：<Single>
└スピン枚葉洗浄：<Spin Single Wafer>
■装置開発実績
■Q&A
■お問合せ
■個人情報保護方針
■会社情報
└ビジネスビジョン
└会社情報
└沿革
└事業所アクセス
└関連企業リンク
■洗浄用語解説
└洗浄
└乾燥
└その他
■絵で見る精密洗浄技術
└洗浄とは…？
└乾燥とは…？
└洗浄方法の分類
└洗浄の基本プロセス
└脱脂の方法ー１：電解脱脂
└脱脂の方法ー２：一般的な湿式法
└脱脂の方法ー３：乾式洗浄
└塵埃除去率の高いスクラブ洗浄
└シャワー（スプレー）洗浄
└クイックダンプリンスのシーケンス
└流水洗浄の概念図
└ドライアイス スクラブ洗浄
└NEO乾燥／マランゴニ乾燥
└NEO乾燥とマランゴニ乾燥の比較
└スピン乾燥
└IPA蒸気乾燥
└温純水引上げ乾燥
└スーパー ヒートIPA蒸気乾燥
■資料・読み物
└乾燥プロセスの最適化手法
└洗浄品質評価方法例
└読み物コーナー
■レーザ装置
■サイトマップ
|
