精密洗浄装置で常に「ベストな洗浄」を提案する スピードファムクリーンシステム株式会社
水中での両面同時スクラブ洗浄方式の採用により、ブラシへの汚染やパーティクルの蓄積を防止します。
流水浸漬槽と超音波を併用して洗浄をおこないパーティクルの再付着を防止します。 酸やアルカリなどの溶剤を使用した、ケミカル洗浄への対応も可能です。
純水を循環して、水面上に浮上した軽量なパーティクルを洗浄槽外に排出します。
リンス後の洗浄液を急激に抜き取り、新しい洗浄液を急激に補充して清浄度を維持管理します。
従来のマランゴニ乾燥技術を改善・改良した新方式の乾燥です。 IPAベーパーに替わる、次世代乾燥システムとしての実用性があります。 熱衝撃（ベーパー乾燥）や加重衝撃（スピン乾燥）を抑制した乾燥がおこなえます。
加熱した純水中にワークを浸漬させ、一定温度でゆっくりとワークを引き上げることにより乾燥します。 “純水の加熱方法”“純水中に発生する気泡の排出” “蒸気の排出”方法はオリジナル技術です。
イソプロピルアルコールから発生させた加熱蒸気を洗浄ワークの上部から送り込みワーク表面の乾燥をおこないます。 再加熱機構（スーパーヒート）により蒸気を１００℃以上に加熱した環境下でワークを乾燥させるため、水分を完全に蒸発させて乾燥します。
洗浄ワークを洗浄籠に積載した状態で回転させてワーク表面を乾燥します。 気流制御された環境下で乾燥をおこなうため、跳ね返りによる汚染はありません。
大気圧を下げることによりワーク表面を濡らしている溶媒の蒸発速度を高めて乾燥をおこないます。
暖めたクリーンなエアーをHEPAまたはULPAフィルターを通して、ワーク表面へのパーティクル汚染を抑制します。 複雑形状のワークには、コンベアを使用したクリーン温風トンネルにより乾燥ができます。
流水スクラブ
