メカニズム - スピン枚葉洗浄：<Spin Single Wafer>

洗浄液内にワークを浸漬させるため、洗浄前のワークが乾燥することなく、汚れの固着を防止するとともに、装置の清浄度維持も可能です。

PVAスポンジでワーク表裏面をスクラブ洗浄することで、ワークに付着した汚れを効果的に除去します。

ワークの汚れ性状に応じて、イボ付またはイボなしのPVAスポンジが選べます。

スポンジ内部から洗浄液を供給することにより、スポンジへの汚れの蓄積が防げます。

薄物ワークの洗浄に最適です。

洗浄液が供給されたPVAスポンジにより、ワーク端面をスクラブ洗浄します。

洗浄液に超音波振動を加えながら、シャワー状に噴射して洗浄を行います。

気体の純水を混合しながら、ワークに噴射して洗浄を行います。

洗浄水の使用量を軽減して、効果的な洗浄が行えます。