絵で見る精密洗浄技術

洗浄とは…？

洗浄とは洗浄ワーク（洗う物）表面に存在している物質のうち、除去したい物質を選択的に取り除く事である。

・	それゆえ、洗浄とは、様々な物質・化学・生物化学反応の集合技術である。

・	洗浄で除去した物質（「汚れ」と称する）には、洗浄ワーク表面に付着・吸着するあらゆる物質が対象となる。

・	汚れを除去する手段として、あるいは二次的に付着・吸着する洗浄ワーク表面素材自身の破片なども汚れに分類する場合、洗浄ワーク表面素材や表面酸化膜を汚れ除去手段として溶解させる事も洗浄の分類に入る。

・	洗浄ワーク表面の酸化膜や変質層を汚れと認定する場合、それを取り除く事も洗浄の分類に入る。

☆洗浄ワーク表面素材や酸化膜のみを意図的に溶解させる場合は、目的が汚れ除去ではないので、プロセスが洗浄に類似していても洗浄とは云わず、エッチングと称する。

洗浄における乾燥の意味は、洗浄溶媒と乾燥溶媒を、洗浄・乾燥後に洗浄ワークに残さない事を云う。

・	成膜前洗浄における乾燥品質は、ことさら厳密になる。

・	洗浄ワークの表面に吸着したり、内部に侵入した水分や洗浄溶媒も除去しなければならない。そうでないと、成膜の欠陥（ピンホールなど）や密着度の低下を招く事になる。

【成膜の欠陥（ピンホールなど）発生】

【成膜の密着度低下】

【液体使用の有無による分類】

【洗浄処理形態による分類】

―まず脱脂して、それから除塵洗浄・・・

【汚れの付着状況】　　　　　　　　・脱脂しないと有機皮膜内に洗浄力及ばず！？

【光ディスク原盤の洗浄での適用例】

《溶剤脱脂 ⇒ 蒸気洗浄法》	《洗剤洗浄法》	《高圧スプレー洗浄法》

溶剤に溶かしてしまう皮膜としては残る	活面活性剤で液中に分散重度の油分脱脂には難あり仕上げレベルには有効	物理的剥離液体や炭酸ガス噴射通常は前洗浄用